1.Laser detektatzeko burua eta laginak eskaneatzeko etapa integratuta daude, egitura oso egonkorra da eta interferentziaren aurkakoa indartsua da.
2. Zehaztasun zunda kokatzeko gailua, laser lekuen lerrokadura doitzea oso erraza da
3.Ardatz bakarreko diskoaren lagina automatikoki zunda bertikalki hurbiltzen da, orratzaren punta laginaren eskaneatzearekiko perpendikularra izan dadin.
4. Orratz elikatzeko metodo adimendunak motor bidez kontrolatutako presiodun piezoelektriko zeramikazko detekzio automatikoaren detekzio automatikoa zunda eta lagina babesten ditu
5.Kokatze optiko automatikoa, ez da fokatu beharrik, denbora errealean behaketa eta zunda laginaren eskaneatzeko eremuaren kokapena.
6.Spring esekidura shockproof metodoa, sinplea eta praktikoa, shockproof efektu ona
7. Metalezko babestutako kutxa insonorizatua, doitasun handiko tenperatura eta hezetasun sentsore integratua, lan-ingurunearen denbora errealean kontrolatzea
8.Eskaner integratua zuzenketa ez-linealaren erabiltzaile-editorea, nanometroen karakterizazioa eta neurketaren zehaztasuna % 98 baino hobea
| Funtzionamendu modua | ukipen modua, sakatu modua |
| Aukerako modua | Marruskadura/Alboko indarra, anplitudea/fasea, indar magnetikoa/elektrostatikoa |
| indar-espektroaren kurba | FZ indar-kurba, RMS-Z kurba |
| XY eskaneatu barrutia | 20 * 20um, aukerakoa 50 * 50um, 100 * 100um |
| Z eskaneatu barrutia | 2.5um, aukerakoa 5um, 10um |
| Eskaneatzeko bereizmena | Horizontala 0,2 nm, bertikala 0,05 nm |
| Laginaren tamaina | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Lagina etapa bidaia | 15*15mm |
| Behaketa optikoa | 4X objektibo optikoko lente/2,5um bereizmena |
| Eskaneatzeko abiadura | 0,6Hz-30Hz |
| Eskaneatzeko angelua | 0-360° |
| Ingurune operatiboa | Windows XP/7/8/10 sistema eragilea |
| Komunikazio Interfazea | USB2.0/3.0 |
| Kolpeak xurgatzeko diseinua | Udaberrian esekita/metalezko blindatutako kutxa |
